主要特点
upnm/sps-lj-1601型蓝宝石基片cmp浆料采用我公司自主合成生产的高纯纳米sio2水溶胶作为磨料,具有生产自动化高,稳定性好的特点。cmp浆料生产过程中采用自动化配制,辅料的添加采用高精度流量计控制,全方位立体搅拌,两层折叠滤芯过滤,自动灌装包装的生产配制方法,因此产品金属杂质极少、易清洗、无毒无污染,使用中产品移除率高、损伤层小、平整度高,避免晶片出现划伤。upnm/sps-lj-1601型cmp浆料中加入了特有的抛光促进剂以及活性物质,能够在cmp过程中保证质量传输的一致性,提高抛光效率。cmp过程中根据需要可以优化不同配比,均能达到最佳使用效果,与国内外同类产品相比,该产品在抛光过程中具有无结晶,划伤少,可以循环使用等特点。
主要用途
主要用于2、4、6英寸蓝宝石衬底片的高质量平整化精加工工艺。
基本参数
ph值
比重
粘度(mpa.s,25℃)
粒径(nm)
na2o%
sio2%
外观
11.0-12.0
1.265-1.300
<5
100-120
<0.3
38-42
乳白色
使用方法
upnm/sps-lj-1601型蓝宝石cmp浆料建议和去离子水的配比为1:1-5,也可根据实际要求改变配比。
山东银丰纳米新材料有限公司
13173033698
中国 济南