为了改善光电检测器的响应速度和转换效率,显然,适当加大耗尽层宽度是有利的,为此在制造时,在p型材料和n型材料之间加一层轻掺杂的n型材料,称为i(intrinsic,本征的)层,加图1所示.由于是轻掺杂,故电子浓度很低,经扩散作用后可形成一个很宽的耗尽层,
另外,为了降低p-n结两端的接触电阻,以便与外电路联接,将两端的材料做成重掺杂的p+层和n+层.
人们将这种结构的光电二级管称为pin光电二极管,制造这种晶体管的本征材料可以是si或ingaas,通过掺杂后形成p型材料和n型材料.pin光电二极管的结构示意如图2所示。
图1 pin光电二极管能带图和构成示意图
图2 pin光电二极管结构示意图(剖面图)